特点
酸类和基底（胺类.氨以及氯化物）的高灵敏度检测
使用点.多点式.移动式监测应用的通用产品配置
体积小，可放在任何位置
以太网，RS-232,4-20毫安输出
优点
连续监测关键点
耐久可靠的数据收集.控制.分析
长期数据稳定性
每份测试成本
电子迁移率光谱仪应用
在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测
在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测
化学过滤器有效率的资格确认
遍及洁净室以及生产工具里的污染源的追踪和去除
前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析
电子迁移率光谱仪如有需要欢迎访问
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